日本 OKK 大宫工业 OTD-35 台式半自动晶圆移载机
2026-10-08 17:43:26
admin
日本 OKK 大宫工业 OTD-35 台式半自动晶圆移载机
| 项目 | 参数概要 |
|---|---|
| 型号 | OTD‑35 |
| 对应晶圆尺寸 | 6‑12 英寸（150‑300 mm）；支持 Si、SiC、GaN 厚基板（重片） |
| 工位布局 | 2 个 FOUP 工位 +1 个石英舟工位；双向转运：FOUP ↔ 石英舟 |
| 驱动系统 | 伺服电机驱动；7 英寸彩色触控面板操作；半自动运行 |
| 搬运模式 | 单张逐片移载 / 整盒批量移载两种模式可切换 |
| 取片机构 | 专用真空软吸盘；针对大尺寸、较重碳化硅基板加强；抑制搬运晃动，降低崩边碎片风险；独有夹持结构减少晶圆应力gor-tech.c... |
| 洁净等级 | 本体低发尘；设备放置于 FFU 洁净台内部使用；不属于独立洁净腔机型 |
| 外形尺寸 | W820 × D620 × H560 mm（桌面台式摆放） |
| 整机重量 | 约 110 kg |
| 供电气源 | 单相 AC200V；需要接入干燥洁净压缩空气（0.4‑0.6MPa） |
