日本 OKK 大宫工业 OKV‑600 立式自转式晶圆旋转甩干干燥机
2026-10-08 17:23:53
admin
日本 OKK 大宫工业 OKV‑600 立式自转式晶圆旋转甩干干燥机
| 项目 | 参数概要 |
|---|---|
| 旋转方式 | 立式单轴自转（卡匣整体高速旋转） |
| 转速范围 | 10‑1500rpm 可调；多段转速工艺设定 |
| 腔体材质 | SUS316L 电解镜面抛光腔体；低发尘 |
| 洁净送风 | 标配 ULPA 过滤器；离子除静电装置选项；向下层流 |
| 工艺功能 | 冲洗 + 离心脱水 + 氮气吹扫干燥一体化；SRD 漂洗干燥功能为选配 |
| 配方存储 | 最多保存 10 组工艺配方；定时 0‑999s 设置；7 英寸触控 PLC |
| 电源规格 | 三相 AC200V（50/60Hz） |
| 整机重量 | OKV‑600 约 160kg；OKV‑800 约 180kg |
| 外形尺寸 (含底座) | OKV‑600：W430 × D839 × H1600 mm；OKV‑800：W513 × D903 × H1585 mm |
