日本 OKK 大宫工业 OTS-15 半自动晶圆移载机
2026-10-08 17:28:06
admin
日本 OKK 大宫工业 OTS-15 半自动晶圆移载机
| 项目 | 参数概要 |
|---|---|
| 型号 | OTS‑15 |
| 兼容基板尺寸 | 4‑6 英寸晶圆（最大 6inch/150mm） |
| 移载方式 | 批量整盒转移；一次可整批转移一整卡匣晶圆；也支持单张手动转移 |
| 适用晶舟 / 卡匣 | 标准开放式塑料晶舟、石英晶舟 |
| 晶圆夹持方式 | 非接触式真空吸嘴，软材质吸盘；降低碎片、划伤风险 |
| 操作模式 | 手动摇杆操控；半自动；无全自动机械手；适合研发、小批量车间 |
| 洁净等级 | 可放置于简易 FFU 洁净台内部使用；本体低发尘设计 |
| 本体尺寸 | W520 × D450 × H480 mm |
| 整机重量 | 约 42kg |
| 电源 | AC100‑200V 单相；0.4kW；需要接入洁净干燥压缩空气 |
